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工商時報【涂志豪╱台北報導】

微影設備大廠荷商艾司摩爾（ASML）在法說會中宣布，不僅極紫外光（EUV）技術可望在今年底前達到每天曝光1,500片晶圓的目標，今年第二季又再取得4台EUV系統訂單，下半年可望取得更多訂單。隨著EUV技術日趨成熟穩定，有機會在7奈米或5奈米製程世代導入量產，極紫外光光罩盒（EUV Pod）供應商家登（3680）將成最大受惠者。

艾司摩爾公告第二季財報，營收淨額達17.4億歐元，平均毛利率42.6％，稅後淨利季增78.8％達3.54億歐元，每股淨利0.83元。由於持續接獲高階製程微影設備訂單，艾司摩爾預估第三季營收淨額達17億歐元，毛利率將上看47％，且預估今年全年營收將再創新高。

艾司摩爾總裁暨執行長溫彼得（Peter Wennink）指出，今年第二季的單季訂單創下最高紀錄，營收淨額來到17.4億歐元，主要貢獻來自於邏輯晶片客戶的訂單，為其10奈米量產做準備，而記憶體客戶需求則維持穩健成長，持續在DRAM和3D NAND進行產能擴張。

溫彼得表示，第二季淨營收中包括部分認列2台於2015年第四季出貨的NXE:3350B極紫外光系統收入，金額為1億歐元，艾司摩爾在第二季取得4台EUV系統的新訂單，總計目前有10台EUV系統待出貨，總金額約10億歐元，預估下半年將有拿到更多訂單。

除了英特爾及台積電已確立朝向EUV發展外，三星及SK海力士的記憶體製程今年亦開始大量利用EUV進行試產。艾司摩爾正加快EUV系統的生產力和妥善率，第二季已有一台在客戶端的NXE:3350B機台可達每天曝光1,200片晶圓的生產力，另一台則可達到每天曝光1,488片晶圓，證明有信心在今年底前達到每天曝光1,500片晶圓的目標。

根據國際大廠的技術藍圖，7奈米及5奈米轉向採用EUV技術已是勢在必行。隨著EUV生態系統愈趨完整，每日及每月試產量正在拉高，提供EUV Pod的家登直接受惠。

家登6月營收月增22.9％達1.86億元，第二季合併營收達4.88億元，與去年同期相較仍成長12.4％，優於市場預期。家登表示，已陸續完成6吋光罩盒與8吋晶舟盒的開發並通過主力客戶認證，將於下半年貢獻營收，12吋晶圓載具市占率持續提升，6月份半導體事業單月營收破1億元大關，展現布局產品線成果，對下半年營運抱持樂觀看法。

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